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ALD沉积Nb2O5 已有1人参与
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有没有哪位老师做过原子层沉积五氧化二铌相关研究？我目前在用A LD沉积五氧化二铌，前驱体用的是TBTDEN（(叔丁胺基)三(二乙氨基)铌(V)）和水，前驱体加热温度135度，沉积温度250度，沉积样品一直发黑，TEM表征没有Nb，请问这是什么原因造成的？求赐教感激不尽?? @jiagle 发自小木虫IOS客户端 |
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gadfly03
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