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ALD沉积Nb2O5 已有1人参与
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有没有哪位老师做过原子层沉积五氧化二铌相关研究?我目前在用A LD沉积五氧化二铌,前驱体用的是TBTDEN((叔丁胺基)三(二乙氨基)铌(V))和水,前驱体加热温度135度,沉积温度250度,沉积样品一直发黑,TEM表征没有Nb,请问这是什么原因造成的?求赐教感激不尽?? @jiagle 发自小木虫IOS客户端 |
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gadfly03
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