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[交流]
原子层沉积（ALD）交流
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| 本人在用原子层沉积制备氧化物的时候发现氧化物很容易制备出高性能的介质材料，但是制备氮化物，特别是大尺寸的容易出现均匀性问题，请问氮化物的制备工艺应该注意什么，8inch氧化铝可以做到0.5%以内。 |
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11楼2025-10-09 19:35:11
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nono20092楼
2025-05-04 10:43
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tzynew3楼
2025-05-04 11:36
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xiejf4楼
2025-05-04 16:50
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庚辰辛丑5楼
2025-05-04 18:14
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psylhh6楼
2025-05-05 07:48
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tfang8楼
2025-05-07 08:38
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2025-05-09 20:38
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XG-WUST10楼
2025-05-09 22:43
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