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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积（ALD）交流
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caiezjzvl

新虫 (小有名气)

[交流] 原子层沉积（ALD）交流

本人在用原子层沉积制备氧化物的时候发现氧化物很容易制备出高性能的介质材料，但是制备氮化物，特别是大尺寸的容易出现均匀性问题，请问氮化物的制备工艺应该注意什么，8inch氧化铝可以做到0.5%以内。
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1楼2025-05-04 10:20:36
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