24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 466  |  回复: 4
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 fangxuan110 的 2 个金币 ,回帖就立即获得 1 个金币,每人有 1 次机会

fangxuan110

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

[交流] 【讨论】硅上LPCVD氮化硅200nm能不能因为应力而分裂

如题, 200nm的氮化硅是否会裂开,盼答复
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

damuchongzi

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

★ ★
fangxuan110(金币+1):谢谢参与
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 11-3 13:33
不做氧化的缓冲层么?视LPCVD的氮化硅的淀积条件而定,低应力LPCVD氮化硅几个微米都没问题。
2楼2009-11-03 03:07:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

实习版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


★ ★
fangxuan110(金币+1):谢谢参与
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 11-3 13:33
不会,氮化硅是非晶态,低压制备下结构致密。
3楼2009-11-03 04:48:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

新虫

有尾巴的青蛙

★ ★
fangxuan110(金币+1):谢谢参与
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论 11-3 13:33
应力跟生长条件有关,不能一概而论。微电子工艺中一般采用SiO2做缓冲层,以防止氮化硅膜开裂。
没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-11-03 09:15:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maccaboy

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


fangxuan110(金币+1):谢谢参与
看作什么用  如果仍是整片  问题不大  如果再做微加工应该和尺寸有关  有以LPCVD  SiN做结构层的  具体还和工艺有关     
通常是有较大应力的   只是大小的差异
5楼2010-01-15 19:51:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 fangxuan110 的主题更新
提示: 如果您在30分钟内回复过其他散金贴,则可能无法领取此贴金币
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ,080500材料科学与工程学硕 +6 @taotao 2026-03-30 6/300 2026-04-01 09:52 by JourneyLucky
[考研] 土木304求调剂 +5 兔突突突, 2026-03-31 6/300 2026-04-01 09:37 by JourneyLucky
[考研] 275求调剂 +6 waltzh 2026-04-01 6/300 2026-04-01 09:32 by yulian1987
[考研] 0856材料与化工调剂,339 +10 10213207 2026-03-31 10/500 2026-04-01 08:28 by Linda Hu
[考研] 309分085801求调剂 +7 学员Gtwj7W 2026-03-31 7/350 2026-04-01 02:36 by BruceLiu320
[考研] 294分080500材料科学与工程求调剂 +12 柳溪边 2026-03-26 13/650 2026-04-01 01:37 by 1018329917
[考研] 一志愿西交大080500材料学硕349 +6 jqx1258 2026-03-31 7/350 2026-03-31 21:08 by yuq
[考研] 材料科学与工程求调剂 +13 深V宿舍吧 2026-03-29 13/650 2026-03-31 19:50 by Dyhoer
[考研] 0856求调剂 +9 楒桉 2026-03-28 9/450 2026-03-31 19:06 by 暮泽12
[考研] 材料求调剂 一志愿哈工大总分298分,前三科223分 +11 dongfang59 2026-03-27 11/550 2026-03-31 16:51 by Wang200018
[考研] 英一数一总分334求调剂 +4 陈阳坤 2026-03-31 4/200 2026-03-31 14:22 by 记事本2026
[考研] 085404 22408 315分 +5 zhuangyan123 2026-03-31 6/300 2026-03-31 13:48 by limeifeng
[考研] 291求调剂 +12 Y-cap 2026-03-29 15/750 2026-03-31 09:25 by Huaxue_Wang
[考研] 083000环境科学与工程调剂,总分281 +4 橙子(胜意) 2026-03-30 4/200 2026-03-31 00:44 by Linzejun
[考研] 085701环境工程求调剂 +11 多久上课 2026-03-27 12/600 2026-03-30 21:21 by 研究僧导导
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工(085600)296求调剂 +25 稻妻小编 2026-03-26 25/1250 2026-03-30 20:11 by 滴滴上岸呀
[考研] 289求调剂 +16 新时代材料 2026-03-27 16/800 2026-03-30 19:04 by Wang200018
[考研] 0703化学求调剂 +6 丹青奶盖 2026-03-26 8/400 2026-03-30 18:33 by 探123
[考研] 293求调剂 +3 末未mm 2026-03-30 5/250 2026-03-30 17:23 by 王保杰33
[考研] 339求调剂,想调回江苏 +6 烤麦芽 2026-03-27 8/400 2026-03-28 10:40 by 烤麦芽
信息提示
请填处理意见