应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » AZ5214E图案化+Pt溅射后lift off困境，急求良策
31/1返回列表
查看: 3424  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者喔喔窝er将赠送您 5 个金币

喔喔窝er

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ5214E图案化+Pt溅射后lift off困境，急求良策 已有1人参与

各位虫友，我最近先使用AZ5214E对聚酰亚胺（PI）表面进行图案化处理，随后进行磁控溅射，具体为先溅射10nm的Ti，再溅射90nm的Pt。在图案化完成后，将样品浸泡在丙酮中进行lift off操作，浸泡一整晚后，第二天再进行超声处理。然而，即便如此，样品上仍有部分区域超声后无法完全清洁干净，于是我就用棉签去擦拭。可是在擦拭过程中，我发现有些地方的Pt会被直接擦掉。通过显微镜观察，我发现那些会被擦掉Pt的区域，其表面都存在褶皱（如图1右侧所示），而左侧平整的区域Pt则不会被擦掉。
   之前采用相同的图案化工艺，用电子束蒸镀一层10nm的Cr和50nm的Au，lift off过程进行得很顺利。但是在做第二层gate修饰的时候（Au表面镀Pt），使用磁控溅射10nm的Ti，再溅射90nm的Pt也会出现起褶的情况（图2）
   所以，我想请教各位虫友，为什么会出现这种情况呢？是因为Ti和衬底结合的不紧密还是衬底没有洗干净亦或者是光刻这一步没有做好呢？
   

         PS. 聚酰亚胺的清洗步骤：先用丙酮清洗，再用水超声处理。显微镜观察表面仍然会残留一些白色的细小颗粒，即使在显影完成后，这些白色小点颗粒物依然清晰可见。
        光刻胶的旋涂工艺参数为500r/5s-3500r/25s，前烘温度为110℃，时间为3分钟

谢谢大家！

AZ5214E图案化+Pt溅射后lift off困境，急求良策


AZ5214E图案化+Pt溅射后lift off困境，急求良策-1

发自小木虫手机客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2025-02-28 10:06:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

NanoPi

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

建议增加PR膜厚，不要烘膜处理；

可以代微纳加工，希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼
2楼2025-03-07 16:14:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

喔喔窝er

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by NanoPi at 2025-03-07 16:14:27
建议增加PR膜厚，不要烘膜处理；

可以代微纳加工，希望对你有帮助。

谢谢老板生意兴隆。已经解决了(???)??
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
3楼2025-03-15 11:27:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 喔喔窝er 的主题更新
31/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 申请科研项目纯靠实力能成功吗？ 200+5 David1982 2026-10-13 9/450 2026-10-15 08:34 by dypengfei
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +11 Isak0320 2026-10-12 15/750 2026-10-14 21:55 by 猫鱼不是鱼
[论文投稿] 二审4个多月了还是Awaiting Reviewer Scores 10+3 纳斯达克ML 2026-10-11 4/200 2026-10-14 17:30 by babero
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 13/650 2026-10-14 15:12 by zuesli
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +4 好运来～9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭