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清华-赛思实验室
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双球差电镜（HADDF、EELS、SUPER EDS）、透射电镜（STEM、TEM）、FIB、SEM、GDMS、XPS、ICP-OES、ICP-MS、XRD、半导体相关检测、芯片逆向等
原位压缩、微柱压缩、悬臂梁弯曲（扫描电镜、透射电镜），球差三维重构
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xuhongdaye

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限量 x 张
满 x 可使用；有效期 x 天；过期可退

内容

型号：sigma300

关键词:场发射扫描、扫描电镜、SEM、FESEM、扫描

产地：德国蔡司

详细内容：



（1）中文名称：场发射扫描电子显微镜；英文名称：FE-SEM



（2）生产厂商:德国卡尔·蔡司股份公司；型号：Zeiss Sigma 300



（3）主要功能及应用：高分辨率微区形貌分析及成像，结合能谱仪可进行半定量分析；被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。



（4）主要技术指标：



分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV）



加速电压：20V~30kV，连续可调，每档10 V连续可调，无需模式更换



电子枪：肖特基热场发射电子枪



电子束流：最大束流不小于20 nA



放大倍数：10~1000000 (底片放大倍率)，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。



样品台移动范围：125 mm（X方向），125 mm（Y方向），50 mm（Z方向），-10°-90°（倾斜），360°（旋转），样品台移动精度：≤2μm



真空系统：样品室真空度：高真空模式优于 2×10-4 Pa；



能谱仪：电制冷牛津40mm2能谱仪



数字图像记录系统：图像储存分辨率：最大32 k×24 k像素，图像显示：1240×768 像素；图像记录：TIFF, BMP或JPEG。



（5）可测试项目：喷金、微观形貌、能谱（点扫、线扫、面扫）



喷金：导电性差、不导电样品需先喷金后测试



形貌：一般取2个位置，共8~10张图片左右



能谱：元素范围Be~U



（6）送样要求：



需提供详细样品信息:样品成分、名称、形态、导电性、拍摄放大倍数/标尺要求、相应的参考图



（7）收费标准联系方式：


按样：100元/个（形貌）
喷金：10元/个
磁性：150元/个
现场：400元/小时（含云视频）

预存价格可谈！

邮箱：test@tsinghua-wx.org
联系人：
徐宏 博士 13426445751（微信同号）
钟磊 经理 15600909562（微信同号）


赛思实验室
清华大学无锡应用技术研究院
商务部第三代半导体投资联盟智库中心
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1楼 2025-02-19 11:00:56
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XG-WUST
★
xuhongdaye(金币+1): 谢谢参与
up

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7楼2025-02-20 21:05:08
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home很一般

至尊木虫 (知名作家)
★
xuhongdaye(金币+1): 谢谢参与
加油
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2楼2025-02-19 11:06:19
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tzynew
★
xuhongdaye(金币+1): 谢谢参与
k
发自小木虫手机客户端
3楼2025-02-19 11:39:31
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tzynew
k
发自小木虫手机客户端
4楼2025-02-19 11:40:36
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