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清华-赛思实验室

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http://www.inno-science.com/

双球差电镜（HADDF、EELS、SUPER EDS）、透射电镜（STEM、TEM）、FIB、SEM、GDMS、XPS、ICP-OES、ICP-MS、XRD、半导体相关检测、芯片逆向等

原位压缩、微柱压缩、悬臂梁弯曲（扫描电镜、透射电镜），球差三维重构

联系人: 徐老师、钟老师 / 手机: 13426445751/15600909562

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xuhongdaye

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内容

型号：sigma300

关键词:场发射扫描、扫描电镜、SEM、FESEM、扫描

产地：德国蔡司

详细内容：

（1）中文名称：场发射扫描电子显微镜；英文名称：FE-SEM

（2）生产厂商:德国卡尔·蔡司股份公司；型号：Zeiss Sigma 300

（3）主要功能及应用：高分辨率微区形貌分析及成像，结合能谱仪可进行半定量分析；被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。

（4）主要技术指标：

分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV）

加速电压：20V~30kV，连续可调，每档10 V连续可调，无需模式更换

电子枪：肖特基热场发射电子枪

电子束流：最大束流不小于20 nA

放大倍数：10~1000000 (底片放大倍率)，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。

样品台移动范围：125 mm（X方向），125 mm（Y方向），50 mm（Z方向），-10°-90°（倾斜），360°（旋转），样品台移动精度：≤2μm

真空系统：样品室真空度：高真空模式优于 2×10-4 Pa；

能谱仪：电制冷牛津40mm2能谱仪

数字图像记录系统：图像储存分辨率：最大32 k×24 k像素，图像显示：1240×768 像素；图像记录：TIFF, BMP或JPEG。

（5）可测试项目：喷金、微观形貌、能谱（点扫、线扫、面扫）

喷金：导电性差、不导电样品需先喷金后测试

形貌：一般取2个位置，共8~10张图片左右

能谱：元素范围Be~U

（6）送样要求：

需提供详细样品信息:样品成分、名称、形态、导电性、拍摄放大倍数/标尺要求、相应的参考图

（7）收费标准联系方式：

按样：100元/个（形貌）
喷金：10元/个
磁性：150元/个
现场：400元/小时（含云视频）

预存价格可谈！

邮箱：test@tsinghua-wx.org
联系人：
徐宏博士 13426445751（微信同号）
钟磊经理 15600909562（微信同号）

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