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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】《反应溅射制备ZnO在氧气气氛下退火》的文献
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flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】《反应溅射制备ZnO在氧气气氛下退火》的文献

一定要是氧气气氛下退火的文献。

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比，功率不变，通过计算溅射速率，改变溅射时间，得到相同的厚度 。怎么算溅射速率呢Sample Text
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吾爱吾师，我更爱真理。
1楼 2009-10-31 09:23:34
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flimxia

银虫 (小有名气)
怎么没人讨论啊，急。。。。
赞一下 回复此楼
吾爱吾师，我更爱真理。
5楼2009-10-31 18:34:29
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):恭喜抢沙发，给个红包
flimxia(金币+1,VIP+0): 10-31 10:06
flimxia(金币+4,VIP+0):谢 11-5 08:45
flimxia(金币+3,VIP+0): 11-5 08:46
溅射速率＝薄膜厚度/溅射时间
薄膜厚度需要测量出来。
赞一下(6人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-10-31 10:00:46
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★
小木虫(金币+0.2):抢了个小板凳，给个红包
flimxia(金币+1,VIP+0): 10-31 10:08
同样的实验，不同的设备，溅射速率是不一样的。
薄膜厚度可以通过台阶仪，或通过TEM、SEM看薄膜断面测出来。
赞一下(3人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-10-31 10:05:38
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flimxia

银虫 (小有名气)
怎么没人回复啊?
赞一下 回复此楼
吾爱吾师，我更爱真理。
6楼2009-11-03 08:10:18
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