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【求助】《反应溅射制备ZnO在氧气气氛下退火》的文献
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一定要是氧气气氛下退火的文献。 反应溅射制备ZnO,改变氧氩比，功率不变，通过计算溅射速率，改变溅射时间，得到相同的厚度 。怎么算溅射速率呢Sample Text |
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 反应磁控溅射 |
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