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磁控溅射氧化镓晶体管没有光响应
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本人在硅基衬底上（100nmSiO2）用磁控溅射做大概100nm的氧化镓，热蒸发镍做叉指电极。但是施加254nm紫外光后没有任何光响应电流，也没有栅控。 溅射工艺纯氩气无氧溅射 1.5mtorr，RF100W。Vd＝5V下，暗电流电流在E-8的量级现在不知道什么情况，就是没有光响应。有没有大佬看见能够指教一下下 ，谢谢 |
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