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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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小柯基?

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射氧化镓晶体管没有光响应

本人在硅基衬底上(100nmSiO2)用磁控溅射做大概100nm的氧化镓,热蒸发镍做叉指电极。但是施加254nm紫外光后没有任何光响应电流,也没有栅控。
溅射工艺纯氩气无氧溅射 1.5mtorr,RF100W。Vd=5V下,暗电流电流在E-8的量级现在不知道什么情况,就是没有光响应。有没有大佬看见能够指教一下下 ,谢谢
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dxcv999

金虫 (小有名气)

2楼2025-04-06 07:42:37
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樱岛麻衣学弟

新虫 (初入文坛)

楼主解决了吗
3楼2025-06-20 16:39:09
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