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lithofab

新虫 (正式写手)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

[求助] 请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒已有1人参与

请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒？

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1楼 2024-11-25 12:25:03

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

NanoPi

银虫 (著名写手)

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虫号: 4012704
注册: 2015-08-08
专业: 化学工程及工业化学

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

1. 请问是什么颗粒？
2. 传统metal纳米颗粒，可以通过磁控溅射/E-beam/ALD等镀膜设备先成膜，再经过还原气体保护退火形成颗粒。

希望可以帮助到你！

2楼2024-11-26 08:34:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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