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lithofab

新虫 (正式写手)

[求助] 请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒 已有1人参与

请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒?
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NanoPi

银虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 请问是什么颗粒?
2. 传统metal纳米颗粒,可以通过磁控溅射/E-beam/ALD等镀膜设备先成膜,再经过还原气体保护退火形成颗粒。

希望可以帮助到你!
2楼2024-11-26 08:34:47
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