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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒
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lithofab

新虫 (正式写手)

[求助] 请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒 已有1人参与

请问如何在晶圆表面制造出20nm 的颗粒？
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1楼 2024-11-25 12:25:03
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NanoPi

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1. 请问是什么颗粒？
2. 传统metal纳米颗粒，可以通过磁控溅射/E-beam/ALD等镀膜设备先成膜，再经过还原气体保护退火形成颗粒。

希望可以帮助到你！
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2楼2024-11-26 08:34:47
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