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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 溶胶制备 IGZO 薄膜求助
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阿荣 de 学术

新虫 (初入文坛)

[求助] 溶胶制备 IGZO 薄膜求助 已有1人参与

目前使用溶胶凝胶法制备 IGZO 薄膜，将硝酸盐溶解在乙二醇单甲醚当中，使用硅片当基底，用丙酮酒精去离子水超声清洗后，因为实验室没有氧等离子清洗机和紫外臭氧清洗机，基底表面亲水性不够，溶液不能旋涂在基底上面，后面加入了稳定剂，现在溶液能旋涂成薄膜了， 350℃ -2h退火出来薄膜很好看，但是万用表测量电阻有很大，请问用什么简单的方法能让基底表面亲水性提高？有什么方法能让薄膜的正常电阻降低呢？

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1楼 2024-11-20 22:24:32
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666哒

新虫 (小有名气)
你好，可以交流一下吗
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5楼2025-12-05 18:30:36
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fanfanucas

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你好 你可以提高铟的含量 导电性就变好了 最近也在做IGZO 可以交流 我的IGZO 溶液有时候有性能 有时候没有 有时候导通 是使用前要搅拌吗
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2楼2024-12-09 21:50:04
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阿荣 de 学术

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fanfanucas at 2024-12-09 21:50:04
你好 你可以提高铟的含量 导电性就变好了 最近也在做IGZO 可以交流 我的IGZO 溶液有时候有性能 有时候没有 有时候导通 是使用前要搅拌吗

加个绿泡泡讨论讨论？
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3楼2025-02-14 10:57:02
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好听滴名字

新虫 (初入文坛)
你好  请问你加入的稳定剂是什么

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4楼2025-08-24 18:23:41
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