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溶胶制备 IGZO 薄膜求助已有1人参与
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目前使用溶胶凝胶法制备 IGZO 薄膜，将硝酸盐溶解在乙二醇单甲醚当中，使用硅片当基底，用丙酮酒精去离子水超声清洗后，因为实验室没有氧等离子清洗机和紫外臭氧清洗机，基底表面亲水性不够，溶液不能旋涂在基底上面，后面加入了稳定剂，现在溶液能旋涂成薄膜了， 350℃ -2h退火出来薄膜很好看，但是万用表测量电阻有很大，请问用什么简单的方法能让基底表面亲水性提高？有什么方法能让薄膜的正常电阻降低呢？ 发自小木虫Android客户端 |
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