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一江pup

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射靶材发黑 已有1人参与

向下溅射台,装了两个靶材,溅射铝靶结束后,金靶表面出现一部分位置黑色的膜层,金靶全程没有启动过,eds测试后,黑色位置碳氧含量占比很高都是有8%左右,但是无论是样品还是靶材表面都没有有机物,请教一下各位大佬,这是什么情况

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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个应该是靶材表面烧焦了,有碳和氧化物产生
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
2楼2025-02-24 16:53:37
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