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磁控溅射靶材发黑 已有1人参与
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向下溅射台，装了两个靶材，溅射铝靶结束后，金靶表面出现一部分位置黑色的膜层，金靶全程没有启动过，eds测试后，黑色位置碳氧含量占比很高都是有8%左右，但是无论是样品还是靶材表面都没有有机物，请教一下各位大佬，这是什么情况 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2025-02-24 16:53:37