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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射靶材发黑
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一江pup

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射靶材发黑 已有1人参与

向下溅射台，装了两个靶材，溅射铝靶结束后，金靶表面出现一部分位置黑色的膜层，金靶全程没有启动过，eds测试后，黑色位置碳氧含量占比很高都是有8%左右，但是无论是样品还是靶材表面都没有有机物，请教一下各位大佬，这是什么情况

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1楼 2024-11-19 16:44:02
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个应该是靶材表面烧焦了，有碳和氧化物产生
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸空镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
2楼2025-02-24 16:53:37
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