应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺
51/1返回列表
查看: 1836  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者hubuhurui将赠送您 5 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hubuhurui

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺 已有4人参与

求助各位大佬，我目前所做的是在蓝宝石上长了一层氧化镓薄膜，然后再通过光刻刻上叉指电极的图案，精度最小是5um，再蒸镀Au作电极。目前的问题是显影总是一半图案清晰一半模糊，其次是镀上Au之后用丙酮洗脱导致图案部分的电极也脱落。希望各位大佬指点指点，卡好久了

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2024-09-18 09:49:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hubuhurui

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 搞浆料的 at 2024-09-18 13:52:59
这是在氧化镓表面镀金？

对的，在氧化镓上蒸镀金

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2024-09-25 09:45:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

搞浆料的

新虫 (小有名气)
这是在氧化镓表面镀金？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2024-09-18 13:52:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Andre_W

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

镀多厚的Au，现在你使用的是什么光刻胶及光刻机台
赞一下 回复此楼
爱一个人，攀一座山，追一个梦
4楼2024-10-18 09:49:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个问题很可能时光刻曝光时间不够（强度不够）或者显影时间不够导致，也有可能是制备的过程中没有金属黏附层，导致Au电极的脱落。
赞一下 回复此楼
5楼2024-11-21 15:48:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 调剂 +8 调剂的考研学生 2026-03-09 8/400 2026-03-15 22:14 by Winj1e
[文学芳草园] 伙伴们，祝我生日快乐吧 +15 myrtle 2026-03-10 24/1200 2026-03-15 21:16 by 苏州_逗号
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油！? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 268求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-14 6/300 2026-03-14 22:20 by 运气yunqi
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习 +3 Losir 2026-03-12 3/150 2026-03-14 12:11 by 热情沙漠
[考研] 材料与化工 一志愿山大 321分 求调剂 +7 每天散步 2026-03-09 8/400 2026-03-14 02:18 by JourneyLucky
[考研] 085600求调剂 +3 a邵星池 2026-03-09 3/150 2026-03-14 01:32 by JourneyLucky
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 318求调剂 +3 李新光 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:21 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] （081700）化学工程与技术-298分求调剂 +12 11啦啦啦 2026-03-11 35/1750 2026-03-13 21:25 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
[考研] 277求调剂 +4 anchor17 2026-03-12 4/200 2026-03-13 11:15 by 白夜悠长
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +5 RuitingC 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:43 by hyswxzs
[考研] 283求调剂，材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
[考研] 纺织、生物、化学、材料相关专业招生了 +4 耶耶业 2026-03-09 7/350 2026-03-12 19:05 by Equinoxhua
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭