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hubuhurui

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺 已有4人参与

求助各位大佬，我目前所做的是在蓝宝石上长了一层氧化镓薄膜，然后再通过光刻刻上叉指电极的图案，精度最小是5um，再蒸镀Au作电极。目前的问题是显影总是一半图案清晰一半模糊，其次是镀上Au之后用丙酮洗脱导致图案部分的电极也脱落。希望各位大佬指点指点，卡好久了

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1楼 2024-09-18 09:49:16
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搞浆料的

新虫 (小有名气)
这是在氧化镓表面镀金？

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2楼2024-09-18 13:52:59
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hubuhurui

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 搞浆料的 at 2024-09-18 13:52:59
这是在氧化镓表面镀金？

对的，在氧化镓上蒸镀金

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3楼2024-09-25 09:45:31
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Andre_W

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

镀多厚的Au，现在你使用的是什么光刻胶及光刻机台
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爱一个人，攀一座山，追一个梦
4楼2024-10-18 09:49:35
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younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个问题很可能时光刻曝光时间不够（强度不够）或者显影时间不够导致，也有可能是制备的过程中没有金属黏附层，导致Au电极的脱落。
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5楼2024-11-21 15:48:23
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Humbless

新虫 (初入文坛)
我觉得可能是金和氧化镓的粘附力不够脱落了

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6楼2025-02-13 21:18:44
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

金前面有镀粘附层嘛
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7楼2025-02-19 16:50:25
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看看你的Recipe

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

会不会是光刻之后有一层底膜没有显影干净，用O plasma打胶去除后再沉积呢？
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8楼2025-02-20 21:36:18
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