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光刻工艺 已有4人参与
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求助各位大佬，我目前所做的是在蓝宝石上长了一层氧化镓薄膜，然后再通过光刻刻上叉指电极的图案，精度最小是5um，再蒸镀Au作电极。目前的问题是显影总是一半图案清晰一半模糊，其次是镀上Au之后用丙酮洗脱导致图案部分的电极也脱落。希望各位大佬指点指点，卡好久了 发自小木虫IOS客户端 |
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Andre_W
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新虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2025-02-20 21:36:18
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