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yunshengcd

新虫 (小有名气)

[交流] 反应碳化硅生产渗硅一般用什么坩埚或工装,使用寿命多长?

目前实验室渗硅用石墨坩埚使用寿命很短,但反应碳化硅早已实现工业化生产,技术比较成熟,成本低,请问一下反应碳化硅工业生产一般用什么坩埚或工装,使用寿命多长?
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sdzn5211

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
您好 做渗硅处理不用坩埚吧 ,虽然我是做坩埚的 真心不建议用坩埚做渗硅

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一直在路上......
5楼2024-09-01 17:31:34
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哈尔罗杰

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
选材耐温1700度以上不与硅和产品反应。

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2楼2024-08-23 08:11:25
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dcl163

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
反应烧结批量生产一般用的是石墨坩埚,如果只是实验室用,可以购买无压烧结碳化硅坩埚。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2024-08-23 16:25:28
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yunshengcd

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by dcl163 at 2024-08-23 16:25:28
反应烧结批量生产一般用的是石墨坩埚,如果只是实验室用,可以购买无压烧结碳化硅坩埚。

硅渗到石墨里,石墨不会开裂吗?生产用石墨坩埚能用多长时间?

发自小木虫Android客户端
4楼2024-08-23 16:33:08
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