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yunshengcd新虫 (小有名气)
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[交流]
反应碳化硅生产渗硅一般用什么坩埚或工装，使用寿命多长？
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| 目前实验室渗硅用石墨坩埚使用寿命很短，但反应碳化硅早已实现工业化生产，技术比较成熟，成本低，请问一下反应碳化硅工业生产一般用什么坩埚或工装，使用寿命多长？ |
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