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iiiiiiicgg

新虫 (小有名气)

[求助] 光刻技术

各位大神咨询一下实验遇到的光刻问题
需要刻深宽比200微米比50微米的圆柱
用的SU8-2075光刻胶
(1)刻出来的厚度达不到要求,只有100微米
(2)刻出来有很多裂纹均匀分布
实验参数按照说明书搞的,做了好几次做不好,希望有大神赐教

光刻技术


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wfg0915

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

烘烤时间太长了吧,底下的胶都龟裂了,导致显不动
2楼2024-05-14 09:16:59
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Alancaojun

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也觉得是Bake时间长了
3楼2024-05-27 15:57:17
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