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iiiiiiicgg新虫 (小有名气)
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光刻技术
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各位大神咨询一下实验遇到的光刻问题 需要刻深宽比200微米比50微米的圆柱 用的SU8-2075光刻胶 (1)刻出来的厚度达不到要求,只有100微米 (2)刻出来有很多裂纹均匀分布 实验参数按照说明书搞的,做了好几次做不好,希望有大神赐教 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2024-05-14 09:16:59
Alancaojun
新虫 (小有名气)
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3楼2024-05-27 15:57:17














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