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iiiiiiicgg新虫 (小有名气)
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[求助]
光刻技术
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各位大神咨询一下实验遇到的光刻问题 需要刻深宽比200微米比50微米的圆柱 用的SU8-2075光刻胶 （1）刻出来的厚度达不到要求，只有100微米 （2）刻出来有很多裂纹均匀分布 实验参数按照说明书搞的，做了好几次做不好，希望有大神赐教  发自小木虫Android客户端 |
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2楼2024-05-14 09:16:59
Alancaojun
新虫 (小有名气)
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- 虫号: 30543951
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- 专业: 高分子合成化学
3楼2024-05-27 15:57:17