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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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心平气和仙子

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】有用多腔室PECVD的介绍一下设备吧

做太阳能Si薄膜电池的朋友,你们用的CVD设备是几腔室的?
设备是国产的还是进口的?
能否提供供应商的信息或者生产(或者组装)厂家的信息?
谢谢!
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心平气和仙子

金虫 (正式写手)

回复三楼的,我们是学校搞科研用的。
如果要四腔室的,
进口的大概什么价位,
国产的用进口部件大概什么价位呢?
5楼2009-10-14 15:07:34
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-13 17:47
心平气和仙子(金币+1,VIP+0):谢谢你提供的信息! 10-14 15:03
www.mvsystems.com
提供研发用PECVD设备,国内的尚德和天威都在这儿定购了研发设备。
到目前为止这个公司的研发设备已经在世界各国有100多套在运行。
可以跟这个mail联系,zhf0578@gmail.com,他在这个公司负责研发工作。
2楼2009-10-13 01:05:49
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ziwei6667

铜虫 (小有名气)

★ ★
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-13 17:48
心平气和仙子(金币+1,VIP+0):希望您提供更多信息!谢谢! 10-14 15:08
看你能出多少钱来买设备,国内北仪\沈科仪都能做,要是零部件都采用进口的话,也很贵.国内一般能做6腔室,一个进样室,5个PECVD腔室,或1个溅射室.
国外当然选择楼上的设备,性能能够保证.
另外你们是学校用还是公司用?
3楼2009-10-13 10:34:06
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)


心平气和仙子(金币+1,VIP+0):谢谢积极参与! 10-14 15:39
呵呵,我这段时间正跟老板一起搭这台仪器,6腔室,自主研制
4楼2009-10-13 14:53:55
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