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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】有用多腔室PECVD的介绍一下设备吧
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心平气和仙子

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】有用多腔室PECVD的介绍一下设备吧

做太阳能Si薄膜电池的朋友，你们用的CVD设备是几腔室的？
设备是国产的还是进口的？
能否提供供应商的信息或者生产（或者组装）厂家的信息？
谢谢！
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1楼 2009-10-12 21:40:12
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-13 17:47
心平气和仙子(金币+1,VIP+0):谢谢你提供的信息！ 10-14 15:03
www.mvsystems.com
提供研发用PECVD设备，国内的尚德和天威都在这儿定购了研发设备。
到目前为止这个公司的研发设备已经在世界各国有100多套在运行。
可以跟这个mail联系，zhf0578@gmail.com，他在这个公司负责研发工作。
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2楼2009-10-13 01:05:49
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ziwei6667

铜虫 (小有名气)
★ ★
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-13 17:48
心平气和仙子(金币+1,VIP+0):希望您提供更多信息！谢谢！ 10-14 15:08
看你能出多少钱来买设备,国内北仪\沈科仪都能做,要是零部件都采用进口的话,也很贵.国内一般能做6腔室,一个进样室,5个PECVD腔室,或1个溅射室.
国外当然选择楼上的设备,性能能够保证.
另外你们是学校用还是公司用?
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3楼2009-10-13 10:34:06
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)
★
心平气和仙子(金币+1,VIP+0):谢谢积极参与！ 10-14 15:39
呵呵，我这段时间正跟老板一起搭这台仪器，6腔室，自主研制
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2009-10-13 14:53:55
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心平气和仙子

金虫 (正式写手)
回复三楼的，我们是学校搞科研用的。
如果要四腔室的，
进口的大概什么价位，
国产的用进口部件大概什么价位呢？
赞一下 回复此楼
5楼2009-10-14 15:07:34
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心平气和仙子

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by andyzhao5858 at 2009-10-13 14:53:
呵呵，我这段时间正跟老板一起搭这台仪器，6腔室，自主研制

能不能说说你们是那里的，搭起的设备是自己用的，还是卖的？
赞一下 回复此楼
6楼2009-10-14 15:41:34
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)
★ ★
心平气和仙子(金币+2,VIP+0): 1-10 20:20
我们自己用的做实验用
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2009-10-14 17:13:23
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
心平气和仙子(金币+2,VIP+0): 1-10 20:19
哪个实验室啊，这么牛
说来听听。
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2009-10-14 23:25:04
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