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石墨化专家
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沉积炉
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沉积炉 用途： 可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。 特点 采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小； 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理； 采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低； 化学气相沉积炉主要配置 炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡 加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨 工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产 真空泵和真空计---进口/国产 人机界面：触摸屏/工控机 电器元件：正泰/施耐德/西门子 参数\型号 JR-CJL-Φ30×50 JR-CJL-Φ60×80 JR-CJL-Φ80×120 JR-CJL-Φ100×150 JR-CJL-Φ110×200 容积（L） 35 226 602 1177 1899 最高温度（℃） 1500 1500 1500 1500 1500 工作区尺寸D×H（mm） Φ300×500 Φ600×800 Φ800×1200 Φ1000×1500 Φ1100×2000 控温方式 日本岛电温控仪 加热方式 电阻加热 真空系统 抗污泵或滑阀泵+罗茨泵 烧结气氛 碳氢气体等 额定电源电压（V） 380 额定加热电压（V） 根据设计确定，配置炉前变压器 |
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