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bzhangdut

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 关于气体质量流量控制器

谁用过或者熟悉气体质量流量控制器,要0-500ml/min范围的,质量好些的,控制相对准确,相对便宜些的,给介绍一下!谢谢啦

最好给出牌子,或者链接。另外,用起来它还存在那些不足的地方。

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bzhangdut

铁杆木虫 (著名写手)

?奇了怪,没有人了解么?
2楼2009-10-12 13:33:34
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

★ ★
bzhangdut(金币+2,VIP+0):thank you 10-12 15:20
我们一般用北京七星华创的,也用过美国MKS的。国产的便宜些,维修也方便。
看你使用什么气体了,如果是MO源,使用一段时间,流量计就会堵塞什么的(管路不是绝对不漏气,所以MO源会氧化生成金属氧化物粉末),需要送厂维修。如果是氢气、氮气或惰性气体什么的,几乎很少损坏。
选择流量计还需注意气体的流量范围,一般低流量和满流量附近误差较大。满量程中间段较准。
没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-10-12 14:20:23
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bzhangdut

铁杆木虫 (著名写手)

还是直接打电话问厂家直接,了解了一部分,呵呵

[ Last edited by bzhangdut on 2009-10-12 at 16:00 ]
4楼2009-10-12 15:57:06
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