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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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bzhangdut

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 关于气体质量流量控制器

谁用过或者熟悉气体质量流量控制器，要0－500ml/min范围的，质量好些的，控制相对准确，相对便宜些的，给介绍一下！谢谢啦

最好给出牌子，或者链接。另外，用起来它还存在那些不足的地方。
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1楼 2009-10-11 13:51:40
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bzhangdut

铁杆木虫 (著名写手)
？奇了怪，没有人了解么？
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2楼2009-10-12 13:33:34
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★
bzhangdut(金币+2,VIP+0):thank you 10-12 15:20
我们一般用北京七星华创的，也用过美国MKS的。国产的便宜些，维修也方便。
看你使用什么气体了，如果是MO源，使用一段时间，流量计就会堵塞什么的（管路不是绝对不漏气，所以MO源会氧化生成金属氧化物粉末），需要送厂维修。如果是氢气、氮气或惰性气体什么的，几乎很少损坏。
选择流量计还需注意气体的流量范围，一般低流量和满流量附近误差较大。满量程中间段较准。
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没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-10-12 14:20:23
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bzhangdut

铁杆木虫 (著名写手)
还是直接打电话问厂家直接，了解了一部分，呵呵

[ Last edited by bzhangdut on 2009-10-12 at 16:00 ]
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4楼2009-10-12 15:57:06
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