应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻
71/1返回列表
查看: 1173  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者是粒栗啊将赠送您 5 个金币

是粒栗啊

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻 已有2人参与

一个镀了二氧化硅的铌酸锂晶圆，光刻的时候总是吸附到掩模板上，导致光刻胶被粘掉，无法光刻无法对准，3612的胶，烘烤时间75℃/20min，真空度正常，有哪位大佬指导一下，实在找不到问题所在了？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2023-10-12 11:50:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

无聊的刁民

木虫 (著名写手)
不明觉厉，围观涨涨人气
赞一下 回复此楼
颗粒分散与基材表面改性
2楼2023-10-12 14:32:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

草也花开

金虫 (知名作家)

疏影@暗香

【答案】应助回帖

基底片吸附到掩膜版上，小概率事件，经常出现会很奇怪。片子翘曲问题？换个片子，换不同基底的片子，换不同光刻机，分别试下效果呢~
赞一下 回复此楼
3楼2023-10-15 15:01:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sdnuzxn

新虫 (小有名气)
是不是与掩模版贴的太近了，二元曝光机可以在掩模版和器件之间通气使二者分离。
赞一下 回复此楼
4楼2023-10-15 16:51:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mixele

新虫 (正式写手)
贴合一层涂布有离型剂的高透光膜，考虑一下

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2023-10-23 11:47:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chipyutek

捐助贵宾 (小有名气)
不接触曝光呢，可以接近式模式

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2023-11-17 22:07:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sxjjason

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

要不要试试烘涂一层HMDS增加粘附性？或者曝光时稍微离板有点距离
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2023-11-20 20:30:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 是粒栗啊 的主题更新
71/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 面上本子正文33页，违规吗？会被低分嘛？ +7 1234567wang 2026-05-17 9/450 2026-05-18 16:19 by 1234567wang
[基金申请] 今年审到国自然15份，谈谈感受 +16 国自然国社科中 2026-05-17 16/800 2026-05-18 14:58 by gy116024
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 cjf4bx70cj 2026-05-14 7/350 2026-05-17 18:49 by Equinoxhua
[考博] 2026博士还有哪些学校有名额 +6 小王求读研 2026-05-15 7/350 2026-05-17 16:54 by 知音湖畔
[考博] 光量子物理方向 博士招生 1人（2026.09） +3 sandyworld 2026-05-15 4/200 2026-05-17 14:38 by sandyworld
[基金申请] 这年头没有找到涵评专家，还有中面上的可能吗 +13 dd921ww 2026-05-12 16/800 2026-05-17 12:38 by 于轩
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 v9tggjlwd0 2026-05-15 4/200 2026-05-17 08:06 by 11n4dfd8yn
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 l7k6xnh0yc 2026-05-14 6/300 2026-05-17 07:31 by 11n4dfd8yn
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 l7k6xnh0yc 2026-05-14 6/300 2026-05-17 07:16 by 11n4dfd8yn
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 l7k6xnh0yc 2026-05-14 6/300 2026-05-17 07:11 by 11n4dfd8yn
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k37jurhrau 2026-05-16 3/150 2026-05-17 01:25 by ue3ir18jc3
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 ky2p12rrjj 2026-05-15 4/200 2026-05-17 00:57 by ue3ir18jc3
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 x0mp7owy2b 2026-05-15 4/200 2026-05-17 00:25 by ue3ir18jc3
[考博] 现在不知道怎么办，感觉很痛苦 +5 qweww 2026-05-11 6/300 2026-05-16 19:57 by Equinoxhua
[基金申请] 请问大佬b0816评完了吗 +4 市民华南虎 2026-05-12 8/400 2026-05-16 19:54 by Equinoxhua
[有机交流] 求助2，4-二氯-5-嘧啶甲醛的合成方法 20+3 光吃不拉 2026-05-14 6/300 2026-05-16 19:46 by Equinoxhua
[有机交流] 如何实现卤原子转化 +3 BT20230424 2026-05-15 5/250 2026-05-16 16:20 by czyzsu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k37jurhrau 2026-05-16 3/150 2026-05-16 13:57 by vcdazktkjx
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 l7k6xnh0yc 2026-05-14 6/300 2026-05-16 11:29 by h3oerqvkv9
[硕博家园] 申请博士 +3 呃?呃 2026-05-15 3/150 2026-05-16 11:01 by a4742549
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭