应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 资源分享 » 磁控溅射仪
41/1返回列表
查看: 1358  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者寻忆126将赠送您 8 个金币

寻忆126

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪 已有1人参与

磁控溅射仪（2019下半年购入，9成9新）
设备技术要求
1.样品基台：直径 6 英寸样品
2.反应腔室：304 不锈钢材质
3.靶座系统：3 英寸圆形靶座 4 个，位于腔室上部；靶与样品的距离90~110mm 可调
4.真空系统：分子泵，机械泵
5.真空测量：薄膜规（进口），全量程规（进口）
6.气路系统：标配 2 路进气，种类和流量可定制；管路配件（进口）
7.电源系统：500W/13.56MHz 自动匹配射频源 1 套（进口）；500W 直流电源 2 套（进口）
8.样品载台：自转旋转 5-30rpm 可调；加热温度 300℃；可加射频偏压200V 预清洗基片
9.真空性能：本底真空优于 6.67x10-5Pa
10.控制系统：工控机；触摸屏，菜单自动/手动操作
11.安全控制：异常报警
12.工艺应用：金属薄膜和介质薄膜沉积
13.不均匀性：≤±5%@6 英寸
14.设备尺寸：一体型设备；占地面价（参考）1.0m*1.50m。

运行需求：
供电需求： 380V、三相五线制；设备总功率需求约为 15KW
冷却水：＞1.5L/min
压缩空气： 0.4~0.6Mpa
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2023-10-09 15:10:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

销售么？？ 最好贴个图片
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2023-11-07 11:25:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

寻忆126

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2023-11-07 11:25:45
销售么？？ 最好贴个图片

小木虫不知道咋了，发不了照片，对仪器感兴趣吗

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2023-11-08 13:40:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

寻忆126

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2023-11-07 11:25:45
销售么？？ 最好贴个图片

仪器图片

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2023-11-08 13:43:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 寻忆126 的主题更新
41/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 420求调剂 +3 莫向外求11 2026-03-10 3/150 2026-03-11 05:03 by 暖阳芬芳
[考研] 标题:捡漏预警|08工科/09农学调剂!英语要求低，过线即有机会! +7 马超放烟花 2026-03-07 12/600 2026-03-10 23:16 by Equinoxhua
[考研] 调剂 +5 调剂的考研学生 2026-03-09 5/250 2026-03-10 22:13 by peike
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
[考研] 332材料求调剂 +6 zjy101327 2026-03-05 8/400 2026-03-10 17:55 by zjy101327
[考博] 读博申请 +4 感dd 2026-03-10 6/300 2026-03-10 17:01 by nxgogo
[考研] 求调剂！ +3 朔朔话 2026-03-09 3/150 2026-03-10 15:48 by houyaoxu
[考研] 294 英二数二物化 求调剂 +6 米饭团不好吃 2026-03-09 6/300 2026-03-09 23:55 by barlinike
[考研] 310 070300化学求调剂 +4 扑风铃的猫 2026-03-08 5/250 2026-03-09 19:46 by 30660438
[考研] 考研调剂，一志愿山东大学材料与化工，328分，政治51 +5 关你西红柿929 2026-03-08 6/300 2026-03-09 13:50 by 新篇章DFSS
[考博] 申博 +5 添菜了哈 2026-03-04 8/400 2026-03-09 10:52 by jamesqi
[考研] 0856材料与化工290求调剂 +7 Nebulala 2026-03-08 8/400 2026-03-09 05:25 by houyaoxu
[考研] 考研求调剂，工科，总分304 +4 矮子不想长高了 2026-03-08 7/350 2026-03-08 22:21 by 小木虫tim
[考研] 理学287分求调剂 +4 看看我. 2026-03-05 4/200 2026-03-08 22:11 by qingfeng258
[考研] 346分材料求调剂 +5 snow_反季节版 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:40 by Leeding1356
[考研] 一志愿武汉理工085601，初试301分，请问能调剂到湖北吗 +3 肖yang 2026-03-06 3/150 2026-03-07 19:08 by ms629
[考研] 一志愿211 085600 280数二英二求调剂 +3 月山斜 2026-03-06 3/150 2026-03-07 18:56 by houyaoxu
[考研] 304求调剂 +4 52hz~~ 2026-03-05 5/250 2026-03-07 15:47 by lature00
[考研] 求调剂 +4 呼呼？~+123456 2026-03-06 4/200 2026-03-06 23:11 by L135790
[考研] 287求调剂 +3 看看我. 2026-03-05 6/300 2026-03-06 10:40 by Iveryant
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭