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李小坤

木虫 (著名写手)

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[交流] 石英表面的怎样GaN清除

使用氢化物气相外延技术生长GaN，但是石英管壁上也沉积了很多GaN，即使使用高温氢气也很难清除，哪位大神告知一下怎样清除更干净？

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1楼 2023-08-24 14:45:07

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