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石英表面的怎样GaN清除
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使用氢化物气相外延技术生长GaN，但是石英管壁上也沉积了很多GaN，即使使用高温氢气也很难清除，哪位大神告知一下怎样清除更干净？ 发自小木虫IOS客户端 |
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