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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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船长的船

实习版主

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[求助] 磁控溅射靶退磁 已有1人参与

请问磁控溅射使用三四年以上,靶子里面的磁体会退磁吗?之前强磁靶可以溅射2mm厚的铁、钴、镍靶材,现在只能溅射1mm厚的靶材,并且溅射速率较慢。这应该是靶内磁体退磁,但一般溅射都是常温,有几次最高衬底温度是300度,为什么还是会退磁呢?

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版主

上善若水,利万物而不争

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
溅射速率低:

(1)氩气进气量过大或过小,调查辉光色彩可以判定氩气是过大仍是过小,据此调整氩气进气量;检修流量计;

(2)靶材过热,查看冷却水流量;

(3)查看永磁体是否消磁。
2楼2023-08-15 16:56:26
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