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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射靶退磁
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船长的船

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶退磁 已有1人参与

请问磁控溅射使用三四年以上，靶子里面的磁体会退磁吗？之前强磁靶可以溅射2mm厚的铁、钴、镍靶材，现在只能溅射1mm厚的靶材，并且溅射速率较慢。这应该是靶内磁体退磁，但一般溅射都是常温，有几次最高衬底温度是300度，为什么还是会退磁呢？

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1楼 2023-08-15 11:42:00
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射速率低：

（1）氩气进气量过大或过小，调查辉光色彩可以判定氩气是过大仍是过小，据此调整氩气进气量；检修流量计；

（2）靶材过热，查看冷却水流量；

（3）查看永磁体是否消磁。
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2楼2023-08-15 16:56:26
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