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铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶退磁已有1人参与

请问磁控溅射使用三四年以上，靶子里面的磁体会退磁吗？之前强磁靶可以溅射2mm厚的铁、钴、镍靶材，现在只能溅射1mm厚的靶材，并且溅射速率较慢。这应该是靶内磁体退磁，但一般溅射都是常温，有几次最高衬底温度是300度，为什么还是会退磁呢？

发自小木虫Android客户端

1楼 2023-08-15 11:42:00

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木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

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溅射速率低：

（1）氩气进气量过大或过小，调查辉光色彩可以判定氩气是过大仍是过小，据此调整氩气进气量；检修流量计；

（2）靶材过热，查看冷却水流量；

（3）查看永磁体是否消磁。

2楼2023-08-15 16:56:26

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