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磁控溅射靶退磁 已有1人参与
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请问磁控溅射使用三四年以上,靶子里面的磁体会退磁吗?之前强磁靶可以溅射2mm厚的铁、钴、镍靶材,现在只能溅射1mm厚的靶材,并且溅射速率较慢。这应该是靶内磁体退磁,但一般溅射都是常温,有几次最高衬底温度是300度,为什么还是会退磁呢? 发自小木虫Android客户端 |
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