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金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[交流] 请教硅通孔刻蚀的问题。

用bosch刻蚀硅通孔，之前用泵油粘贴过载片，刻蚀到最后泵油会溢出到结构里，遮挡刻蚀。
后来咨询工程师，说用真空硅脂粘贴载片。
样品背面镀了一层铝做截至层。
但是刻蚀到结构的最底部，图形的边角部分总是刻蚀不干净。
是刻蚀时间不够呢还是底部镀膜和硅脂有影响？
请教大佬，si通孔刻蚀，有什么技巧吗？

Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.

1楼 2023-07-21 13:20:54

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金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:

2楼: Originally posted by MEMSlee at 2023-07-22 05:46:33
就直接涂蜡粘片刻蚀，你要达到设备能力的深宽比就行。

那可能还是我们机台深硅刻蚀工艺有问题，深硅做的比较少，看来得调一下工艺看看。

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]

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3楼2023-07-22 07:25:58

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金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:

2楼: Originally posted by MEMSlee at 2023-07-22 05:46:33
就直接涂蜡粘片刻蚀，你要达到设备能力的深宽比就行。

是用石蜡粘吗？粘完怎么去除掉呢？其实我是小样品，粘在石英载片上。

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]

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4楼2023-07-22 07:27:34

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