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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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[交流]
请教硅通孔刻蚀的问题。
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用bosch刻蚀硅通孔，之前用泵油粘贴过载片，刻蚀到最后泵油会溢出到结构里，遮挡刻蚀。 后来咨询工程师，说用真空硅脂粘贴载片。 样品背面镀了一层铝做截至层。 但是刻蚀到结构的最底部，图形的边角部分总是刻蚀不干净。 是刻蚀时间不够呢还是底部镀膜和硅脂有影响？ 请教大佬，si通孔刻蚀，有什么技巧吗？ |
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2楼2023-07-22 05:46:33
wj0702114081
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zangshoub
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