| 查看: 1291 | 回复: 6 | ||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 wj0702114081 的 10 个金币 | ||
wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
|
[交流]
请教硅通孔刻蚀的问题。
|
|
|
用bosch刻蚀硅通孔，之前用泵油粘贴过载片，刻蚀到最后泵油会溢出到结构里，遮挡刻蚀。 后来咨询工程师，说用真空硅脂粘贴载片。 样品背面镀了一层铝做截至层。 但是刻蚀到结构的最底部，图形的边角部分总是刻蚀不干净。 是刻蚀时间不够呢还是底部镀膜和硅脂有影响？ 请教大佬，si通孔刻蚀，有什么技巧吗？ |
回复此楼
2楼2023-07-22 05:46:33
wj0702114081
金虫 (正式写手)
学神的奴隶
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 752.4
- 散金: 59
- 红花: 13
- 帖子: 364
- 在线: 148小时
- 虫号: 1013700
- 注册: 2010-05-08
- 专业: 光学
3楼2023-07-22 07:25:58
wj0702114081
金虫 (正式写手)
学神的奴隶
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 752.4
- 散金: 59
- 红花: 13
- 帖子: 364
- 在线: 148小时
- 虫号: 1013700
- 注册: 2010-05-08
- 专业: 光学
4楼2023-07-22 07:27:34
5楼2023-07-23 14:54:51
zangshoub
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 55.2
- 散金: 25
- 帖子: 67
- 在线: 11.6小时
- 虫号: 6486129
- 注册: 2017-05-09
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
6楼2025-09-13 23:46:44
7楼2025-09-14 21:21:44