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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教硅通孔刻蚀的问题。
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[交流] 请教硅通孔刻蚀的问题。

用bosch刻蚀硅通孔，之前用泵油粘贴过载片，刻蚀到最后泵油会溢出到结构里，遮挡刻蚀。
后来咨询工程师，说用真空硅脂粘贴载片。
样品背面镀了一层铝做截至层。
但是刻蚀到结构的最底部，图形的边角部分总是刻蚀不干净。
是刻蚀时间不够呢还是底部镀膜和硅脂有影响？
请教大佬，si通孔刻蚀，有什么技巧吗？
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1楼 2023-07-21 13:20:54
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MEMSlee

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就直接涂蜡粘片刻蚀，你要达到设备能力的深宽比就行。

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2楼2023-07-22 05:46:33
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2023-07-22 05:46:33
就直接涂蜡粘片刻蚀，你要达到设备能力的深宽比就行。

那可能还是我们机台深硅刻蚀工艺有问题，深硅做的比较少，看来得调一下工艺看看。

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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3楼2023-07-22 07:25:58
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2023-07-22 05:46:33
就直接涂蜡粘片刻蚀，你要达到设备能力的深宽比就行。

是用石蜡粘吗？粘完怎么去除掉呢？其实我是小样品，粘在石英载片上。

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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4楼2023-07-22 07:27:34
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MEMSlee

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引用回帖:
4楼: Originally posted by wj0702114081 at 2023-07-22 07:27:34
是用石蜡粘吗？粘完怎么去除掉呢？其实我是小样品，粘在石英载片上。
...

加热酒精就可以去除

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5楼2023-07-23 14:54:51
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zangshoub

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我可以做这类的深硅刻蚀，楼上一看是专家，一般是石蜡粘
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MEMS相关技术咨询，代加工，划片，减薄，光刻版设计可以联系我：13961814622
6楼2025-09-13 23:46:44
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JiaXS

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背面做一层氧化硅做截止层吧，别用铝了。
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7楼2025-09-14 21:21:44
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