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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 功能高分子 » 光刻胶树脂
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天空ll

银虫 (小有名气)
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光刻胶树脂
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在做光刻胶树脂，想不明白为什么要一直控制金属杂质的含量，这个对后面那个工艺有什么影响？

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1楼 2023-06-17 09:46:23
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wujiuwuhua

铜虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
半导体材料拥有独特的电性能和物理性能，这些性能使得半导体器件和电路具有独特的功能。但半导体材料也容易被污染损害，细微的污染都可能改变半导体的性质。通常光刻胶、显影液和溶剂中无机非金属离子和金属杂质的限量控制在ppb级别，控制和监测光刻工艺中无机非金属离子和金属离子的含量，是集成电路产业链中非常重要的环节。
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7楼2023-06-20 10:17:31
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zyj123zyj2楼
2023-06-17 09:47   回复  
天空ll(金币+1): 谢谢参与
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nono20093楼
2023-06-17 09:48   回复  
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tzynew4楼
2023-06-17 09:51   回复  
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全力以赴20165楼
2023-06-17 09:51   回复  
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悦意生活6楼
2023-06-17 09:55   回复  
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