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在做光刻胶树脂,想不明白为什么要一直控制金属杂质的含量,这个对后面那个工艺有什么影响?
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半导体材料拥有独特的电性能和物理性能,这些性能使得半导体器件和电路具有独特的功能。但半导体材料也容易被污染损害,细微的污染都可能改变半导体的性质。通常光刻胶、显影液和溶剂中无机非金属离子和金属杂质的限量控制在ppb级别,控制和监测光刻工艺中无机非金属离子和金属离子的含量,是集成电路产业链中非常重要的环节。
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7楼
2023-06-20 10:17:31
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zyj123zyj
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2023-06-17 09:47
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nono2009
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tzynew
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2023-06-17 09:51
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全力以赴2016
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