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旋涂不均匀该怎么解决 已有1人参与
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| 求助各位,在旋涂的薄膜为什么中间薄,边缘厚,降低转速也没有用,加长时间就又不能达到需要的薄膜厚度了,经常出现边缘旋涂不到的情况,还会出现有旋涂的地方有薄膜特别薄的小圆圈,有没有大神有这方面经验帮忙解答一下呀? |
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