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旋涂不均匀该怎么解决 已有1人参与
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| 求助各位，在旋涂的薄膜为什么中间薄，边缘厚，降低转速也没有用，加长时间就又不能达到需要的薄膜厚度了，经常出现边缘旋涂不到的情况，还会出现有旋涂的地方有薄膜特别薄的小圆圈，有没有大神有这方面经验帮忙解答一下呀？ |
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5楼2023-05-29 20:40:07