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qingang6180金虫 (正式写手)
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【求助】XPS和EDS在成分检测上有什么区别啊？
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XPS和EDS在成分检测上有什么区别啊？ 谢谢！ |
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3楼2009-09-30 14:42:01
wgj
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楼上说的都有道理。 可以说二者都是半定量的，相对量的 EDS做的是元素含量分析，不能分析价态，但可以做平面元素分布，而且应该是深度分析。各元素相对含量由仪器直接给出。可得到元素分布图及峰强度图。EDS一般附属在TEM或SEM上，可以透过电镜观察直接对某个点或某个区域进行检测。 EDS又称为EDAX或EDX 而XPS可以做元素含量及价态分析，在做价态分析时常常需要对峰进行拟合解析从而得出价态含量，人为因素比较多。属于表面分析，几个纳米左右吧。如果对样品进行溅射剥离，可以进行逐层深度分析（即不同深度上各种元素及价态含量的变化）。XPS只得到各元素峰强度图。 [ Last edited by wgj on 2009-9-30 at 16:34 ] |
4楼2009-09-30 16:29:36
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我再补充些吧。 XPS我没有做过，没有发言权 但是EDS或EDX，其实都是一个东西。 X射线能量弥散谱仪EDX，EDS是X射线能谱仪 能谱仪由于电子束靶材的选取以及不同原理（如场发式，热靶，冷靶等方式不同）对最低探测的原子序数有一定要求。 一般来讲比较好的EDS是能探测到高于铍的元素，而我学校日本岛津的SX550配套的EDS，只能做到C， 所以如果想看C之前的元素，还得要较好的EDS。 另外，EDS是个半定量，而且一般有分析精度，如果样品某元素含量低于0.5%，甚至是1%，仪器的本征误差，可能就是1%，这时含量不准确，可比性差。 此外，对于成分打点，线扫，和面扫来讲，对于打点，可以选取点和一定范围的成分，这样的结果还是有差异的。 我仅就自己的经验，谈了谈，希望对楼主有用。 |
8楼2009-11-28 23:47:34
bluern
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7楼2009-11-28 23:30:30
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