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qingang6180金虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】XPS和EDS在成分检测上有什么区别啊？
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XPS和EDS在成分检测上有什么区别啊？ 谢谢！ |
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jianchen2500
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bluern
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wgj
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zlin(金币+3,VIP+0):鼓励交流~ 9-30 20:32
土纸(金币+3,VIP+0):精彩，确实是有研究。较为透彻。 11-28 23:35
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土纸(金币+3,VIP+0):精彩，确实是有研究。较为透彻。 11-28 23:35
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楼上说的都有道理。 可以说二者都是半定量的，相对量的 EDS做的是元素含量分析，不能分析价态，但可以做平面元素分布，而且应该是深度分析。各元素相对含量由仪器直接给出。可得到元素分布图及峰强度图。EDS一般附属在TEM或SEM上，可以透过电镜观察直接对某个点或某个区域进行检测。 EDS又称为EDAX或EDX 而XPS可以做元素含量及价态分析，在做价态分析时常常需要对峰进行拟合解析从而得出价态含量，人为因素比较多。属于表面分析，几个纳米左右吧。如果对样品进行溅射剥离，可以进行逐层深度分析（即不同深度上各种元素及价态含量的变化）。XPS只得到各元素峰强度图。 [ Last edited by wgj on 2009-9-30 at 16:34 ] |
4楼2009-09-30 16:29:36
