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zhang1011金虫 (正式写手)
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【书籍】《Thin film materials》L. B. Freund著
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最强悍的“薄膜材料”的英文参考书 这么多年来，我认为最好的、最全面的一本薄膜材料的书籍。外文原版，语言很容易理解。相信对行内的同志是本难得的参考书。分享的同时不要忘了给我这个新手BB哦（抓紧吧，10天后将会删除）。下面是目录： Preface 1 Introduction and Overview 1 1.1 A classi¯cation of thin ¯lm con¯gurations 3 1.2 Film deposition methods 6 1.3 Modes of ¯lm growth by vapor deposition 17 1.4 Film microstructures 33 1.5 Processing of microelectronic structures 52 1.6 Processing of MEMS structures 57 1.8 Growth stress in polycrystalline ¯lms 69 1.9 Consequences of stress in ¯lms 90 1.10 Exercises 91 2 Film stress and substrate curvature 93 3 Stress in anisotropic and patterned films 167 4 Delamination and fracture 239 5 Film buckling, bulging and peeling 341 6. Dislocation formation in epitaxial systems 422 7 Dislocation interactions and strain relaxation 506 8 Equilibrium and stability of surfaces 599 9 The role of stress in mass transport 697 http://www.namipan.com/d/Thin%20Film%20Materials-%20Stress%2c%20Defect%20Formation.pdf/d8069a87814079e3f8c94ecd6d9698d118091661de61c600 [ Last edited by zxz.1982 on 2009-9-28 at 20:28 ] |
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