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木虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】在做铁电薄膜时,RTA与CFA相比有哪些优越性?

在做铁电薄膜时,RTA与CFA相比有哪些优越性?
国产RTA有哪些厂家做的比较好呢?
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木子小木虫

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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
CFA是什么退火啊?
只用到过RTA和CTA
论文投稿区欢迎您!
2楼2009-09-28 16:13:05
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348813172

木虫 (小有名气)


ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
引用回帖:
Originally posted by 木子小木虫 at 2009-9-28 16:13:
CFA是什么退火啊?
只用到过RTA和CTA

CFA就是conventional furnace annealing,常规热处理或传统热处理吧,和CTA是一个意思吧
3楼2009-09-28 16:38:50
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kmwang

新虫 (小有名气)

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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
RTA升温速率和降温速率都比较快,退火时间短,但相应的温度可能要高一些。
4楼2009-09-29 08:21:13
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solgeltech

银虫 (小有名气)

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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
Beijing East Star的不错

应该还是RTA好些吧 因为对于薄膜来说 退火对薄膜成核结晶等影响较大
工艺很容易调整
传统方式 比较费时
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn www.yuanteksolgel.com
5楼2009-09-29 15:59:27
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