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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【讨论】在做铁电薄膜时，RTA与CFA相比有哪些优越性？
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348813172

木虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】在做铁电薄膜时，RTA与CFA相比有哪些优越性？

在做铁电薄膜时，RTA与CFA相比有哪些优越性？
国产RTA有哪些厂家做的比较好呢？
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1楼 2009-09-28 14:53:08
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
CFA是什么退火啊？
只用到过RTA和CTA
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2楼2009-09-28 16:13:05
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348813172

木虫 (小有名气)
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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
引用回帖:
Originally posted by 木子小木虫 at 2009-9-28 16:13:
CFA是什么退火啊？
只用到过RTA和CTA

CFA就是conventional furnace annealing,常规热处理或传统热处理吧，和CTA是一个意思吧
赞一下(10人) 回复此楼
3楼2009-09-28 16:38:50
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kmwang

新虫 (小有名气)
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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
RTA升温速率和降温速率都比较快，退火时间短，但相应的温度可能要高一些。
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4楼2009-09-29 08:21:13
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solgeltech

银虫 (小有名气)
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ufoer(金币+1,VIP+0):3x 9-30 15:03
Beijing East Star的不错

应该还是RTA好些吧 因为对于薄膜来说 退火对薄膜成核结晶等影响较大
工艺很容易调整
传统方式 比较费时
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镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
5楼2009-09-29 15:59:27
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