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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » 求助，我们目前想得到10nm左右的氧化钇非晶膜层？用什么方法好一些呢？
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小赵丫

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助，我们目前想得到10nm左右的氧化钇非晶膜层？用什么方法好一些呢？

如题
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1楼 2023-04-08 06:26:32
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小赵丫

新虫 (初入文坛)
除了反应溅射 还有别的办法吗？国内有没有卖非晶氧化钇靶材的呢

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2楼2023-04-08 06:27:08
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