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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】银靶表面被污染或者氧化，怎么处理？
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316606212

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】银靶表面被污染或者氧化，怎么处理？

磁控溅射用银靶，直径大约70mm，大概4、5个月没用，表面氧化了，另外，由于以前使用时可能被污染，现在镀膜的颜色有点发黄，请问各位师兄师姐，银靶可以怎样处理？
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1楼2009-09-26 11:05:43
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moxming

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):谢谢 9-26 19:01
其实，磁控溅射的靶材，都需要预溅射，你预溅射时间稍微长点，表面的氧化层就没事了的...
赞一下(11人) 回复此楼
2楼2009-09-26 18:56:54
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