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316606212

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】银靶表面被污染或者氧化,怎么处理?

磁控溅射用银靶,直径大约70mm,大概4、5个月没用,表面氧化了,另外,由于以前使用时可能被污染,现在镀膜的颜色有点发黄,请问各位师兄师姐,银靶可以怎样处理?
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moxming

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):谢谢 9-26 19:01
其实,磁控溅射的靶材,都需要预溅射,你预溅射时间稍微长点,表面的氧化层就没事了的...
2楼2009-09-26 18:56:54
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
同LS,最好用射频溅射的方法,多预溅射一下
3楼2009-09-26 19:53:23
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亲核取代

铁杆木虫 (知名作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
预溅射, 这是常用的方法
4楼2009-09-26 21:35:34
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modown

银虫 (小有名气)

use Ar+ bombarding
5楼2009-09-27 01:44:42
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