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sdnuzx2009

金虫 (小有名气)

[求助] SiC单晶小面指什么?

请问一下碳化硅单晶4H-SiC生长小面指什么?怎么形成的?

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sdnuzx2009

金虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 六两废铜 at 2023-04-01 10:28:13
SiC具有较多种类的晶型,常见晶型有2H-SiC、3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC等,4H-SiC有一个六方格点和一个立方格点,双原子层以ABCB-ABCB形式连接;多型体的稳定性与生长环境、籽晶的极性、掺杂杂质等多个因素有 ...

谢谢,能不能把小面怎么形成的过程或者机理解释一下,目前优点困扰,拜托!
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3楼2023-04-03 08:58:03
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六两废铜

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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sdnuzx2009: 金币+50, 博学EPI+1, 谢谢 2023-04-03 08:58:21
SiC具有较多种类的晶型,常见晶型有2H-SiC、3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC等,4H-SiC有一个六方格点和一个立方格点,双原子层以ABCB-ABCB形式连接;多型体的稳定性与生长环境、籽晶的极性、掺杂杂质等多个因素有关系,在超过2400℃的物理气相传输法中,6H-SiC和4H-SiC都是常见的多型体,在相对较低的温度和压强下会优先生长4H-SiC单晶;而6H-SiC会在较高的温度和压强下优先生长。除了温度和压强以外,当生长环境富C时,4H-SiC比6H-SiC更易优先生长。

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2楼2023-04-01 10:28:13
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