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sdnuzx2009金虫 (小有名气)
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SiC单晶小面指什么？
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| 请问一下碳化硅单晶4H-SiC生长小面指什么？怎么形成的？ |
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至尊木虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
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sdnuzx2009: 金币+50, 博学EPI+1, 谢谢 2023-04-03 08:58:21
sdnuzx2009: 金币+50, 博学EPI+1, 谢谢 2023-04-03 08:58:21
| SiC具有较多种类的晶型，常见晶型有2H-SiC、3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC等，4H-SiC有一个六方格点和一个立方格点，双原子层以ABCB-ABCB形式连接；多型体的稳定性与生长环境、籽晶的极性、掺杂杂质等多个因素有关系，在超过2400℃的物理气相传输法中，6H-SiC和4H-SiC都是常见的多型体，在相对较低的温度和压强下会优先生长4H-SiC单晶；而6H-SiC会在较高的温度和压强下优先生长。除了温度和压强以外，当生长环境富C时，4H-SiC比6H-SiC更易优先生长。 |
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sdnuzx20092楼2023-04-01 10:28:13
sdnuzx2009
金虫 (小有名气)
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